超短パルス YAG & Yb レーザー
レーザー微細加工の高スループット化に新しいソリューション
こんな加工がしたい・カスタムはできますか・どのレーザーを選べば良いですか等々
レーザー加工に関するお困り事なら渋谷光学へご相談ください。
SUPER WAVE社について
SUPER WAVE社（以下、当社）は2018年に設立され、北京経済技術開発区に位置しています。
超短パルスレーザーおよび関連製品の専門メーカーであり、2020年に国家ハイテク企業に認定され、2021年には北京市の「専門特新」中小企業にも選出されました。
設立以来、優れた超短パルスレーザーを世界のマイクロナノ加工分野に提供するという使命を掲げ、国内外のレーザー分野でトップクラスの有名企業になることを目指しています。
当社が開発した超短パルスレーザーは、主に産業用超精密加工分野で使用されており、ピコ秒およびフェムト秒のシリーズで十数種類にわたる製品を提供しています。 また、ユーザーのニーズに合わせたカスタマイズにも対応しています。
当社は光学、機械、電子、制御のぞれの分野で10年以上の経験をもった研究開発チームを擁し、ユーザー様に価値を提供出来るバックグランドをもっています。
クラス1000の2000平方メートル以上のクリーンルームを備え、 当社のコア技術チームは年間1000台（セット）の各種レーザーを生産する経験と能力を備えています。
また、 常に顧客中心の姿勢を堅持し、高品質な製品と一流のサービスを提供し続けています。
今後もユーザー、サプライヤー、パートナー、研究機関と共にウィンウィンのエコシステムを構築し、技術の進歩と産業発展に取り組んでまいります。
ピコ秒レーザー Leonisシリーズ
パルス幅が1兆分の1秒（10-12秒）で、高精度な微細加工に適しています。熱に敏感な材料の加工に優れ、ポリマーやセラミックの加工に利用されます。
用途としては、微細加工、薄膜パターニング、美容医療（シミ除去など）があります。
IRレーザー
透明材料の精密なレーザー加工においては、ミクロな非熱的アブレーションを起こすフェムト秒レーザーをワーク側で蓄熱が起こる限界の高繰り返しで照射するアプローチがトレンドとなっています。
また従来のデブリやクラックが発生すること無く最大限のアブレーション量が得られるパルス幅とエネルギーを持つピコ秒レーザーは高スループットに向けた高エネルギー＆高繰り返し発振が開発されています。
グリーンレーザー・UVレーザー
可視域や紫外域に吸収を持つ色付き材料の精密なレーザー加工においては、非線形光学結晶を用いた第二高調波（532nm、515nm）第三高調波(355nm,343nm)のパルスレーザーの照射が有効となります。
ワークにより異なる吸収率や残留熱の緩和時間に合わせて波長、エネルギー、パルス幅、照射方法（バースト照射、PODパルスオンデマンド）を活用する事でMAXのスループットを得る事が可能です。
- パルス幅：<10ps
- 出力：5W-15W
- パルスエネルギー：15μJ-150μJ
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
グリーンピコ秒レーザーのビーム品質（8W / 100kHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Leonis-1064-15 |
Leonis-532-8 |
Leonis-355-5 |
| 中心波長 |
1064±0.5 nm |
532±0.5 nm |
355±0.5 nm |
| 出力 |
15 W@100 kHz |
8 W@100 kHz |
5W@300 kHz |
| 繰り返し |
1 Hz~1 MHz |
1 Hz~1 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
150 μJ |
80 μJ |
15 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<2%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
~10 ps |
~7 ps |
~7 ps |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
2.0±0.5 mm |
1.5±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~5 |
1~3 |
1 |
| 外形寸法 |
600*288*132.5 mm³ |
600*288*132.5 mm³ |
600*288*132.5 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
- パルス幅：<15ps
- 出力：30W-80W
- パルスエネルギー：30μJ-1000μJ
- バーストエネルギー：1mJ-4mJ@Burst 4
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
- 適応素材：２次電池のアノード・カソード、シリコンウエハ
- 加工例：ラミネート電池のアノード・カソード切断、半導体ウエハのダイシング
UVピコ秒レーザーのビーム品質（60W / 2MHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Leonis-1064-30 |
Leonis-1064-50 |
Leonis-1064-80 |
| 中心波長 |
1064±0.5 nm |
1064±0.5 nm |
1064±0.5 nm |
| 出力 |
30 W@100 kHz |
50 W@100 kHz
50 W@50 kHz |
80 W@Burst 4@20 kHz |
| 繰り返し |
1 Hz~1 MHz |
1 Hz~1 MHz |
1 Hz~1 MHz |
| パルスエネルギー |
300 μJ |
500 μJ@Burst 1
1 mJ@Burst 2 |
4 mJ@Burst 4@20 kHz |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
~10 ps |
~10 ps |
~15 ps |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
3.0±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~5 |
1~5 |
5~6 |
| 外形寸法 |
800*364*140 mm³ |
800*364*140 mm³ |
800*364*140 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50～60 Hz |
AC 100~240 V/50～60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
| 型番 |
Leonis-532-30 |
Leonis-532-80 |
Leonis-355-30 |
Leonis-355-60 |
| 中心波長 |
532±0.5 nm |
532±0.5 nm |
355±0.5 nm |
355±0.5 nm |
| 出力 |
30 W@100 kHz |
80 W@400 kHz |
30 W@1 MHz |
60 W@2 MHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~6 MHz |
1 Hz~6 MHz |
| パルスエネルギー |
300 μJ |
200 μJ |
30 μJ |
30 μJ |
| 出力安定性 |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<1%(8 hours, RMS) |
<1%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
~7 ps |
~7 ps |
~7 ps |
~7 ps |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
1.5±0.5 mm |
1.5±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~3 |
1~3 |
1 |
1 |
| 外形寸法 |
800*364*140 mm³ |
800*364*140 mm³ |
800*364*140 mm³ |
800*364*140 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE
(TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE
(TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE
(TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE
(TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V
/50~60 Hz |
AC 100~240 V
/50~60 Hz |
AC 100~240 V
/50~60 Hz |
AC 100~240 V
/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
- パルス幅：<15ps
- 出力：80W-200W
- パルスエネルギー：80μJ-500μJ
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
グリーンピコ秒レーザーのビーム品質（120W / 400kHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Leonis-1064-200 |
Leonis-532-120 |
Leonis-355-80 |
| 中心波長 |
1064±0.5 nm |
532±0.5 nm |
355±0.5 nm |
| 出力 |
200 W@1 MHz |
120 W@400 kHz |
80 W@1 MHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
200 μJ@10ps /500 μJ@20ps |
300 μJ |
80 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<2%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
~10 ps |
~15 ps |
~15 ps |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
3.0±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~10 |
1~3 |
1 |
| 外形寸法 |
800*420*139.5 mm³ |
800*420*139.5 mm³ |
800*420*139.5 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30℃ |
22~30℃ |
22~30℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
- パルス幅：<15ps
- 出力：100W-500W
- パルスエネルギー：100μJ-200μJ
- 中心波長：1064nm/532nm/355nm
IRピコ秒レーザーのビーム品質（500W / 5MHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Leonis-1064-500 |
Leonis-532-200 |
Leonis-355-100 |
| 中心波長 |
1064±0.5 nm |
532±0.5 nm |
355±0.5 nm |
| 出力 |
500 W@5 MHz |
200 W@1 MHz |
100 W@1 MHz |
| 繰り返し |
1 Hz~6 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
100 μJ |
200 μJ |
100 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<2%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
~10 ps |
~15 ps |
~15 ps |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
3.0±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
3.5±0.5 mm |
| バーストモード |
1~10 |
1~3 |
1 |
| 外形寸法 |
980*560*153 mm³ |
980*560*153 mm³ |
980*560*153 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30℃ |
22~30℃ |
22~30℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
フェムト秒レーザー Herculesシリーズ
フェムト秒レーザーは、パルス幅が1000兆分の1秒(10-15秒)で、材料への熱影響が極めて少ないため、より精密な加工が可能です。ピコ秒レーザーよりも短いパルス幅を持つため、より高精度な加工が可能ですが、コストが高くなる傾向があります。用途としては、高精度な微細加工、医療分野での精密手術、理化学研究などがあります。
IRレーザー
透明材料の精密なレーザー加工においては、ミクロな非熱的アブレーションを起こすフェムト秒レーザーをワーク側で蓄熱が起こる限界の高繰り返しで照射するアプローチがトレンドとなっています。
また従来のデブリやクラックが発生すること無く最大限のアブレーション量が得られるパルス幅とエネルギーを持つピコ秒レーザーは高スループットに向けた高エネルギー＆高繰り返し発振が開発されています。
グリーンレーザー・UVレーザー
可視域や紫外域に吸収を持つ色付き材料の精密なレーザー加工においては、非線形光学結晶を用いた第二高調波（532nm、515nm）第三高調波(355nm,343nm)のパルスレーザーの照射が有効となります。
ワークにより異なる吸収率や残留熱の緩和時間に合わせて波長、エネルギー、パルス幅、照射方法（バースト照射、PODパルスオンデマンド）を活用する事でMAXのスループットを得る事が可能です。
- パルス幅：<240fs
- 出力：5W-40W
- パルスエネルギー：5μJ-100μJ
- 中心波長：1030nm/515nm/343nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（40W / 1000kHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Hercules-1030-20-ND |
Hercules-1030-40-ND |
| 中心波長 |
1030±5 nm |
1030±5 nm |
| 出力 |
20 W@200 kHz |
40 W@1000 kHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
100 μJ |
40 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
<240 fs |
<240 fs |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
3.0±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~10 |
1~10 |
| 外形寸法 |
660*337*150 mm³ |
660*337*150 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30℃ |
22~30℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
| 型番 |
Hercules-515-10-ND |
Hercules-515-20-ND |
Hercules-343-5-ND |
| 中心波長 |
515±3 nm |
515±3 nm |
343±3 nm |
| 出力 |
10 W@200 kHz |
20 W@1000 kHz |
5 W@1000 kHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
50 μJ |
20 μJ |
5 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
<200 fs |
<200 fs |
<400 fs |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
2.0±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~3 |
1~3 |
1 |
| 外形寸法 |
660*337*150 mm³ |
660*337*150 mm³ |
660*337*150 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30℃ |
22~30℃ |
22~30℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
- パルス幅：<300fs
- 出力：10W-30W
- パルスエネルギー：30μJ-300μJ
- 中心波長：1030nm/515nm/343nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（30W / 100kHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Hercules-1030-30-ND |
Hercules-515-15-ND |
Hercules-343-10-ND |
| 中心波長 |
1030±5 nm |
515±3 nm |
343±3 nm |
| 出力 |
30 W@100 kHz |
15 W@100 kHz |
10 W@300 kHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
300 μJ |
150 μJ |
30 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
<300 fs |
<300 fs |
<400 fs |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
TEM₀₀， M²≤1.2 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
3.0±0.5 mm |
2.5±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~10 |
1~3 |
1 |
| 外形寸法 |
800*432*149 mm³ |
800*432*149 mm³ |
800*432*149 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30℃ |
22~30℃ |
22~30℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
- パルス幅：<600fs
- 出力：30W-80W
- パルスエネルギー： 30μJ-500μJ
- 中心波長：1030nm/515nm/343nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（50W / 200kHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Hercules-1030-50 |
Hercules-1030-80 |
| 中心波長 |
1030±5 nm |
1030±5 nm |
| 出力 |
50 W@200 kHz |
80 W@200 kHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
250 μJ |
400 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours, RMS) |
<1.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
<600 fs |
<600 fs |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
2.5±0.5 mm |
2.5±0.5 mm |
| バーストモード |
1~10 |
1~10 |
| 外形寸法 |
800*432*149 mm³ |
800*432*149 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
| 型番 |
Hercules-515-30 |
Hercules-515-80 |
Hercules-343-30 |
| 中心波長 |
515±3 nm |
515±3 nm |
343±1 nm |
| 出力 |
30 W@200 kHz |
80 W@200 kHz |
30 W@1 MHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
150 μJ |
400 μJ |
30 μJ |
| 出力安定性 |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<1.5%(8 hours, RMS) |
<2.0%(8 hours, RMS) |
| パルス幅 |
<500 fs |
<550 fs |
<500 fs |
| ビーム品質 |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
TEM₀₀， M²≤1.3> |
TEM₀₀， M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>85% |
| ビーム径 |
2.0±0.5 mm |
2.5±0.5 mm |
2.5±0.5 mm |
| バーストモード |
1~3 |
1~3 |
1 |
| 外形寸法 |
800*432*149 mm³ |
800*432*149 mm³ |
800*432*149 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
- パルス幅：<400fs
- 出力：120W-300W
- パルスエネルギー：120μJ-2000μJ
- 中心波長：1030nm/515nm
IRフェムト秒レーザーのビーム品質（200W / 100kHz）（典型値）
仕様
| 型番 |
Hercules-1030-200 |
Hercules-1030-300 |
Hercules-515-120 |
| 中心波長 |
1030±5 nm |
1030±5 nm |
515±3 nm |
| 出力 |
200 W@100 kHz |
300 W@1 MHz |
120 W@1 MHz |
| 繰り返し |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
1 Hz~2 MHz |
| パルスエネルギー |
2 mJ |
300 μJ |
120 μJ |
| 出力安定性 |
<1.0%(8 hours,RMS) |
<1.0%(8 hours,RMS) |
<1.0%(8 hours,RMS) |
| パルス幅 |
<400 fs |
<400 fs |
<350 fs |
| ビーム品質 |
TEM₀₀，M²≤1.3 |
TEM₀₀，M²≤1.3 |
TEM₀₀，M²≤1.3 |
| 真円率 |
>90% |
>90% |
>90% |
| ビーム径 |
3.0±0.5 mm |
3.0±0.5 mm |
2.0±0.5 mm |
| バーストモード |
1~10 |
1~10 |
1~3 |
| 外形寸法 |
980*560*153 mm³ |
980*560*153 mm³ |
980*560*153 mm³ |
| 外部制御モード |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
PSO/POD/GATE (TTLトリガー) |
| 外部電源制御 |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
0~5 V, リニア |
| 電源要件 |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
AC 100~240 V/50~60 Hz |
| 湿度条件 |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
<60% RH@25 ℃ |
| 温度条件 |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
22~30 ℃ |
| 冷却方式 |
循環水冷 |
循環水冷 |
循環水冷 |
株式会社渋谷光学